提出一种采用梳齿驱动方式的新型微镜结构

通过外加电压使处于不同高度的可动梳齿与固定梳齿产生转动

带动镜面发生偏转。研究表明:在外加电压为101V时

微镜的转动范围达15.4°

超过平行板驱动微镜。同时

采用有限元方法进行了仿真模拟

结果显示:其固有频率、抗干扰性高于平行板驱动微镜。