纸质出版:2005
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电化学腐蚀法制备针尖的试验研究[J]. 传感器与微系统, 2005,(3):24-26.
电化学腐蚀法制备针尖的试验研究[J]. 传感器与微系统, 2005,(3):24-26. DOI: 10.13873/j.1000-97872005.03.009.
DOI:
用电化学腐蚀法制备微小尺寸的针尖
在深入分析电化学腐蚀原理的基础上
采用检测电流变化率的方法对腐蚀过程进行控制
使切断时间控制在微秒级以下
并对试验参数(如
电压、电极丝浸入溶液深度、溶液浓度等)对试验结果的影响进行了分析
制作出尺寸在微米级以下的针尖。
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