单片集成MEMS技术

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单片集成MEMS技术

更新时间：2025-09-11

- 单片集成MEMS技术
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2005年第3期页码：1-3+6
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(90207022)
- DOI：10.13873/j.1000-97872005.03.001
  中图分类号： TN405
- 纸质出版：2005
- 稿件说明：
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单片集成MEMS技术[J]. 传感器与微系统, 2005,(3):1-3+6.
单片集成MEMS技术[J]. 传感器与微系统, 2005,(3):1-3+6. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.03.001.

DOI：

摘要

介绍了单片集成MEMS技术相对传统混合(hybrid)方法的优势;分析了单片集成MEMS技术实现的难点

同时

给出了目前与CMOS工艺兼容的多种单片集成MEMS的技术特点、工艺流程;详细阐述了目前各种post CMOS技术。最后

给出单片集成MEMS技术的未来发展趋势。

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相关作者

付春末

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吕世涛

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所

中国科学院大学

通富微电子股份有限公司

南通大学微电子学院(集成电路学院)

山西北方机械制造有限责任公司

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