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高量程MEMS加速度计封装工艺研究
更新时间：2025-09-11

    • 高量程MEMS加速度计封装工艺研究

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    • 传感器与微系统   2005年第2期 页码：83-85

    • DOI：10.13873/j.1000-97872005.02.032    

      中图分类号： TH824.4

    • 纸质出版：2005

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  • 高量程MEMS加速度计封装工艺研究[J]. 传感器与微系统, 2005,(2):83-85. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.02.032.

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