悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析

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悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析

更新时间：2025-09-11

- 悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2005年第2期页码：48-50
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  福建省自然科学基金资助项目(A0110003);福建省教育厅B类科研项目(JB03283)
- DOI：10.13873/j.1000-97872005.02.018
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2005
- 稿件说明：
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悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析[J]. 传感器与微系统, 2005,(2):48-50.
悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析[J]. 传感器与微系统, 2005,(2):48-50. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.02.018.

DOI：

摘要

介绍了电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用

根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案

利用ANSYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分析。讨论了系统的机械灵敏度及隧道电流与隧道电极间隙的关系。

Abstract

关键词

Keywords

references

陈德英,茅盘松,史建伟,熊涛,张旭,金肖科.扭摆式微硅隧道加速度传感器[J].电子器件,2001(04).

史建伟,陈德英.隧道加速度计的发展概况[J].电子器件,1999(03).

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相关作者

陈德英

相关机构

东南大学微电子中心

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