微电子机械系统(MEMS)技术为生物微传感器和生物芯片的研制以及实现小型化、便携式、低成本

高灵敏度的生化片上系统提供了有力的技术支持。综述了基于MEMS的生物微传感技术

介绍了生物微传感器和生物芯片的原理、结构、分类及应用

并探讨了其发展和应用前景。