MEMS粗真空传感器研制

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MEMS粗真空传感器研制

更新时间：2025-09-11

- MEMS粗真空传感器研制
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2005年第1期页码：87-88
- 作者机构：
  
  佛山科技学院物理系,广东,佛山,528000
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872005.01.033
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2005
- 稿件说明：
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李炳乾. MEMS粗真空传感器研制[J]. 传感器与微系统, 2005,(1):87-88.
李炳乾. MEMS粗真空传感器研制[J]. 传感器与微系统, 2005,(1):87-88. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.01.033.

DOI：

设计了硅基MEMS粗真空传感器及其工艺流程

分析了MEMS粗真空传感器的工作原理和过程

制作了MEMS粗真空传感器

并对其真空敏感特性和温度交叉敏感特性进行了实验研究。研究结果表明:采用恒压源供电时

制作的MEMS真空传感器灵敏度高达0.55μV/Pa

同时

具有很好的线性度和重复性。

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