声表面波质量传感器

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声表面波质量传感器

更新时间：2025-09-11

- 声表面波质量传感器
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2005年第1期页码：60-62+66
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(60176027);浙江省自然科学基金资助项目(600026)
- DOI：10.13873/j.1000-97872005.01.024
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2005
- 稿件说明：
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声表面波质量传感器[J]. 传感器与微系统, 2005,(1):60-62+66.
声表面波质量传感器[J]. 传感器与微系统, 2005,(1):60-62+66. DOI： 10.13873/j.1000-97872005.01.024.

DOI：

在128°Y切割X传播方向上的LiNbO3基片上设计并研制了新型声表面波(SAW)质量传感器。它将输入叉指换能器激发的SAW中心对称分成两路并由各自的输出叉指换能器检测输出。由于环境温度对SAW延迟线振荡器的振荡频率影响较大

传感器的输出不仅决定于质量沉积区所沉积的质量

还决定于测量时所处的环境温度。为此

在SAW质量传感器测量时

同时监测传感器的输入信息质量沉积区的质量和环境温度及其输出频率信息

采用多传感器信息融合技术进行融合处理

质量传感器的温度灵敏度分别从αs0.2=0.8007/℃

αs0.6=0.2488/℃提高到α's0.2=1.71×10-2/℃

α's0.6=3.28×10-3/℃。

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