设计与制造了一种高灵敏度的硅微机械陀螺。陀螺用静电来驱动

用连接成惠斯顿电桥的压阻式力敏电阻应变计来检测。主梁、微梁 质量块结构实现了高灵敏度。比较硬的主梁提供了一定的机械强度

并且提供了高共振频率。微梁很细

检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻应变计就扩散在微梁上

质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力

输出很大的信号。5V条件下

陀螺检测部分的理论灵敏度达到27.45mV/gn。压阻式四端器件用来监测驱动振幅

可以反馈补偿压阻的温度系数。检测模态的Q值达260使陀螺能在大气下工作。陀螺利用普通的n型硅片制造

为了刻蚀高深宽比的结构

使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺。