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扁平驻极体微电机的静电场分析
更新时间：2025-09-11

    • 扁平驻极体微电机的静电场分析

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    • 传感器与微系统   2004年第11期 页码：81-82+85

    • DOI：10.13873/j.1000-97872004.11.029    

      中图分类号： TM38

    • 纸质出版：2004

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  • 扁平驻极体微电机的静电场分析[J]. 传感器与微系统, 2004,(11):81-82+85. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.11.029.

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