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等效模型分析微机械薄膜谐振器的力学特性
更新时间：2025-09-11

    • 等效模型分析微机械薄膜谐振器的力学特性

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    • 传感器与微系统   2004年第11期 页码：61-63

    • DOI：10.13873/j.1000-97872004.11.022    

      中图分类号： TN629.1

    • 纸质出版：2004

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  • 李炳乾. 等效模型分析微机械薄膜谐振器的力学特性[J]. 传感器与微系统, 2004,(11):61-63. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.11.022.

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