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利用电子束曝光系统制作高深宽比图形的研究
更新时间：2025-09-11

    • 利用电子束曝光系统制作高深宽比图形的研究

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    • 传感器与微系统   2004年第11期 页码：30-31+37

    • DOI：10.13873/j.1000-97872004.11.010    

      中图分类号： TN305.7

    • 纸质出版：2004

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  • 利用电子束曝光系统制作高深宽比图形的研究[J]. 传感器与微系统, 2004,(11):30-31+37. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.11.010.

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