一种平板式MEMSRF射频开关的设计

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一种平板式MEMSRF射频开关的设计

更新时间：2025-09-11

- 一种平板式MEMSRF射频开关的设计
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- 传感器与微系统 2004年第10期页码：87-88
- 作者机构：
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- DOI：10.13873/j.1000-97872004.10.032
  中图分类号： TH703
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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一种平板式MEMSRF射频开关的设计[J]. 传感器与微系统, 2004,(10):87-88.
一种平板式MEMSRF射频开关的设计[J]. 传感器与微系统, 2004,(10):87-88. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.10.032.

DOI：

摘要

介绍了一种实用的平板电容式MEMSRF射频开关。研究了外加驱动电压与由此所引起的极板间距和极板受力变化之间的非线性关系

提出了一种有效的基于有限元的设计分析方法

在此基础上设计了相应的MEMS加工工艺流程

并给出了具体的MEMS工艺。

Abstract

关键词

Keywords

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王国强主编.实用工程数值模拟技术及其在ANSYS上的实践[M].西北工业大学出版社,1999.

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