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声表面波加速度计中压膜阻尼技术的研究
更新时间：2025-09-11

    • 声表面波加速度计中压膜阻尼技术的研究

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    • 传感器与微系统   2004年第10期 页码：35-36+42

    • DOI：10.13873/j.1000-97872004.10.013    

      中图分类号： TH82

    • 纸质出版：2004

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  • 声表面波加速度计中压膜阻尼技术的研究[J]. 传感器与微系统, 2004,(10):35-36+42. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.10.013.

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