微电机粗糙表面粘附仿真分析

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微电机粗糙表面粘附仿真分析

更新时间：2025-09-11

- 微电机粗糙表面粘附仿真分析
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- 传感器与微系统 2004年第10期页码：33-34+40
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家"863"计划资助项目(2002AA862011)
- DOI：10.13873/j.1000-97872004.10.012
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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微电机粗糙表面粘附仿真分析[J]. 传感器与微系统, 2004,(10):33-34+40.
微电机粗糙表面粘附仿真分析[J]. 传感器与微系统, 2004,(10):33-34+40. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.10.012.

DOI：

摘要

针对粘附现象严重影响微电机性能的问题

建立了微电机粗糙表面"截球型"粘附物理模型;根据Hamaker微观连续介质修正理论

推导出微电机粘附力数学模型

仿真出相当表面光洁度等级分别为10级、11级和12级的微电机粘附力数值结果

从而为微电机的结构设计提供了理论依据。

Abstract

关键词

Keywords

references

田文超,贾建援.微机械纳米接触原子层数的连续方法研究[J].机械科学与技术,2003(S1).

田文超,贾建援.MEMS粘附问题研究[J].仪器仪表学报,2003(S1).

田文超,贾建援.微加速度开关吸附力仿真计算[J].传感器技术,2003(11).

田文超,贾建援.Hamaker均质材料假设修正[J].物理学报,2003(05).

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