双光栅干涉仪数字式位移传感器的研究

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双光栅干涉仪数字式位移传感器的研究

更新时间：2025-09-11

- 双光栅干涉仪数字式位移传感器的研究
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- 传感器与微系统 2004年第10期页码：22-23+26
- 作者机构：
  
  黑龙江大学电子工程学院,黑龙江,哈尔滨,150080
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872004.10.008
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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曲伟. 双光栅干涉仪数字式位移传感器的研究[J]. 传感器与微系统, 2004,(10):22-23+26.
曲伟. 双光栅干涉仪数字式位移传感器的研究[J]. 传感器与微系统, 2004,(10):22-23+26. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.10.008.

DOI：

为了检定高准确度位移传感器、几何量计量定位、微细加工测量

同时

也测量那些可以转换为微位移或光程差的其它物理量。基于双光栅干涉仪原理

设计了一种数字式位移传感器

对该装置进行了理论分析和计算机模拟

实验验证:该测量装置的绝对误差不大于0.019μm。

苏绍璟,刘辉,吕海宝,王跃科.纳米级位移分辨率双光栅系统的多普勒分析[J].光学精密工程,2003(01).

霍彦明,崔骥,许三南,李相银.不规则光栅在双光栅衍射中的作用分析[J].南京理工大学学报,1998(03).

廖延彪编.物理光学[M].电子工业出版社,1986.

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