纸质出版:2004
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硅-蓝宝石压力传感器芯片调整电阻的设计[J]. 传感器与微系统, 2004,(9):40-41+44.
硅-蓝宝石压力传感器芯片调整电阻的设计[J]. 传感器与微系统, 2004,(9):40-41+44. DOI: 10.13873/j.1000-97872004.09.015.
DOI:
介绍了硅-蓝宝石压力传感器芯片外延硅层上调整电阻的设计和应用
通过设计调整电阻来实现芯片的电桥平衡
达到了调整其输出特性、改善传感器性能、提高芯片适用性的目的。
袁希光主编.传感器技术手册[M].国防工业出版社,1986.
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