溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究

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溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究

更新时间：2025-09-11

- 溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2004年第9期页码：26-28
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  黑龙江省计划项目(GB02A302)
- DOI：10.13873/j.1000-97872004.09.010
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究[J]. 传感器与微系统, 2004,(9):26-28.
溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究[J]. 传感器与微系统, 2004,(9):26-28. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.09.010.

DOI：

摘要

采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜

结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器。探讨了PZT薄膜微驱动器的制备工艺方法

解决了制备工艺中存在的关键问题。

Abstract

关键词

Keywords

references

陈峥,汤庭鳌,邹斯洵.Sol-Gel法制备的铁电薄膜和Pt/Ti下电极的反应离子刻蚀技术[J].半导体学报,1999(02).

温殿忠，庄玉光，邱成军.硅在KOH溶液中各向异性腐蚀机理的研究[J].黑龙江大学(自然科学学报),1996(03).

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