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微加热板式半导体微气压传感器的测试
更新时间：2025-09-11

    • 微加热板式半导体微气压传感器的测试

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2004年第8期 页码：55-57

    • DOI：10.13873/j.1000-97872004.08.020    

      中图分类号： TP212

    • 纸质出版：2004

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  • 微加热板式半导体微气压传感器的测试[J]. 传感器与微系统, 2004,(8):55-57. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.08.020.

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林青

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