纸质出版:2004
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预载电压对力平衡式微硅加速度计性能的影响[J]. 传感器与微系统, 2004,(8):35-37+40.
预载电压对力平衡式微硅加速度计性能的影响[J]. 传感器与微系统, 2004,(8):35-37+40. DOI: 10.13873/j.1000-97872004.08.013.
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在实验中发现
力平衡式加速度计的施力电压变化范围和传统计算中的并不相同。为研究预载电压对加速度计性能指标的影响
重新推导了力发生器的传递函数和静电负刚度等参数的表达式。对参数的分析显示:预载电压直接影响了加速度计的灵敏度、量程和分辨力
但不影响非线性。在综合各种影响的基础上
提出了根据不同应用的要求选取预载电压的方法
并进行了实验验证。
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