叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析

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叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析

更新时间：2025-09-11

- 叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析
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- 传感器与微系统 2004年第7期页码：27-29+33
- 作者机构：
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- DOI：10.13873/j.1000-97872004.07.009
  中图分类号： TH824.4
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析[J]. 传感器与微系统, 2004,(7):27-29+33.
叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析[J]. 传感器与微系统, 2004,(7):27-29+33. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.07.009.

DOI：

为了分析叉指式微加速度计静电-机械耦合场

提出了一种近似分析方法。作为实例

分析了一种新型微加速度计的机电耦合场对灵敏度的影响

所得结果与理论值比较一致

且计算精度接近于有限元分析方法

进一步计算表明:将该近似方法与有限元方法结合

不仅可以提高求解速度

还可以达到较高的精度。

郑英彬,苏伟,何晓平.叉指式微加速度计的静电-机械耦合场分析[J].传感器技术,2002(05).

彭勃,何晓平,苏伟.微机械静电伺服加速度计[J].中国惯性技术学报,2000(01).

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