由微机械加工技术和集成电路工艺制作的微悬臂梁

通过在其表面修饰以生化敏感层

能将电、热、应力和化学等信号变化转换成一个机械响应

配合以信号采集电路和测量系统

能够达到很高的灵敏度和精度。回顾微悬臂梁作为传感器的发展历程

介绍悬臂梁的工作原理

微梁的激励、检测方法以及基于微悬臂梁阵列传感器的优点

总结了世界上硅基微悬臂梁生化传感器的最新动态

并且展望微悬臂梁传感器这一新领域的应用前景。