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元胞自动机方法在MEMS工艺模拟中的应用
更新时间：2025-09-11

    • 元胞自动机方法在MEMS工艺模拟中的应用

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    • 传感器与微系统   2004年第4期 页码：77-80

    • DOI：10.13873/j.1000-97872004.04.025    

      中图分类号： TN40

    • 纸质出版：2004

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  • 元胞自动机方法在MEMS工艺模拟中的应用[J]. 传感器与微系统, 2004,(4):77-80. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.04.025.

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