水热腐蚀铁钝化多孔硅的湿敏特性研究

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水热腐蚀铁钝化多孔硅的湿敏特性研究

更新时间：2025-09-11

- 水热腐蚀铁钝化多孔硅的湿敏特性研究
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- 传感器与微系统 2004年第3期页码：11-13
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(19904011);河南省杰出青年基金资助项目(0014)
- DOI：10.13873/j.1000-97872004.03.003
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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水热腐蚀铁钝化多孔硅的湿敏特性研究[J]. 传感器与微系统, 2004,(3):11-13.
水热腐蚀铁钝化多孔硅的湿敏特性研究[J]. 传感器与微系统, 2004,(3):11-13. DOI： 10.13873/j.1000-97872004.03.003.

DOI：

采用水热腐蚀铁钝化法在单晶硅片上生长铁钝化多孔硅(IPS)薄膜

以IPS为感湿介质制成湿敏元件。在不同湿度环境以及测试频率下

测出其电容值

得到了IPS的湿敏特性曲线。研究发现

当相对湿度从11%RH逐渐增加到95%RH的过程中

在测试频率为100Hz时

IPS湿敏元件的电容值增大幅度达1500%

电容响应时间在升湿过程和脱湿过程分别为15s和5s

并且IPS湿敏元件的温度系数在15℃到35℃的范围内较小。结果表明:IPS湿敏元件的特性包括灵敏度、响应时间以及温度系数等均优于多孔硅(PS)湿敏元件的特性。

许媛媛,何金田,李新建,陈渝仁.多孔硅湿度传感器研究进展[J].传感器技术,2003(08).

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