纸质出版:2004
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基于霍尔效应的半导体外延片电参数测试[J]. 传感器与微系统, 2004,(2):38-39+43.
基于霍尔效应的半导体外延片电参数测试[J]. 传感器与微系统, 2004,(2):38-39+43. DOI: 10.13873/j.1000-97872004.02.012.
DOI:
介绍半导体外延片霍尔效应测试的理论和方法
利用霍尔效应测试可以更好地研究半导体材料电学性能
在外延片的研制过程中测试外延层的载流子浓度
利用范德堡法测试电阻率以及载流子迁移率等参数。
文尚胜,文尚胜,范广涵.小型烧结炉装置的设计与制作[J].物理实验,2000(09).
孙以材 编著.半导体测试技术[M].冶金工业出版社,1984.
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