纸质出版:2003
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接触电容式压力传感器的设计与模拟[J]. 传感器与微系统, 2003,(12):78-80.
接触电容式压力传感器的设计与模拟[J]. 传感器与微系统, 2003,(12):78-80. DOI: 10.13873/j.1000-97872003.12.026.
DOI:
针对大气测量的气压计应用
根据接触电容式压力传感器的工作原理
优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构。通过有限元分析软件ANSYS进行了验证
最后讨论了这种结构的非线性度。
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