PZT压电薄膜在微传感器中的应用

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

PZT压电薄膜在微传感器中的应用

更新时间：2025-09-11

- PZT压电薄膜在微传感器中的应用
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2003年第12期页码：73-77
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然基金资助项目(90207022)
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.12.025
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
移动端阅览
PZT压电薄膜在微传感器中的应用[J]. 传感器与微系统, 2003,(12):73-77.
PZT压电薄膜在微传感器中的应用[J]. 传感器与微系统, 2003,(12):73-77. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.12.025.

DOI：

锆钛酸铅压电材料(PZT)因具有优良的压电性能、热释电性能、铁电性能和介电性能而被广泛地应用在微电子机械系统(MEMS)中。基于微传感器

介绍了PZT薄膜

重点介绍了PZT薄膜在微传感器中的应用

并介绍了PZT薄膜微传感器的发展状况。

周嘉,黄宜平.PZT压电薄膜的压电系数d_(31)的测量及其微悬臂梁简谐振动模拟[J].复旦学报(自然科学版),2002(02).

马薇,李世玮,虞吉林.以PZT薄膜为驱动和传感的微型陀螺研制[J].压电与声光,2001(01).

马薇,李世玮,虞吉林.一种新颖的四梁式压电薄膜微型陀螺[J].中国科学技术大学学报,2000(04).

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

基于曲面指纹结构的触觉传感器性能研究

高掺钪AlN压电薄膜HBAR器件及工艺研究

传感元件损伤与脱层对阵列式压电模态传感器的影响

LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用

人体牙齿咀嚼状况的实时测量方法