介绍压阻式硅微加速度计的结构设计。采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计。该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点

适用于微机械器件的制作。通过测试

加速度计的非线性达到0.2%。讨论了影响加速度计灵敏度的结构因素和工艺因素。