纸质出版:2003
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一种SiC高温温度传感器[J]. 传感器与微系统, 2003,(12):32-33+39.
一种SiC高温温度传感器[J]. 传感器与微系统, 2003,(12):32-33+39. DOI: 10.13873/j.1000-97872003.12.010.
DOI:
理论表明
当流过SiC肖特基势垒二极管的正向电流恒定时
在一定温度范围内
器件两端的正向压降与温度变化之间存在线性关系。利用此特性
可以制造SiC高温温度传感器。阐述了SiC高温温度传感器的工作原理、结构特点和工艺过程
介绍了传感器系统的结构。系统的测温范围在0~500℃
测量准确度可达0.5℃。
钱佑华,徐至中[著].半导体物理[M].高等教育出版社,1999.
刘恩科等编著.半导体物理学[M].国防工业出版社,1989.
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