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隧道式硅微加速度计的设计和制作
更新时间：2025-09-11

    • 隧道式硅微加速度计的设计和制作

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    • 传感器与微系统   2003年第12期 页码：25-28

    • DOI：10.13873/j.1000-97872003.12.008    

      中图分类号： TH824.4

    • 纸质出版：2003

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  • 隧道式硅微加速度计的设计和制作[J]. 传感器与微系统, 2003,(12):25-28. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.12.008.

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