南京理工大学机械工程学院,江苏,南京,210094
纸质出版:2003
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席占稳. 压阻式硅微型加速度传感器的研制[J]. 传感器与微系统, 2003,(11):31-33.
席占稳. 压阻式硅微型加速度传感器的研制[J]. 传感器与微系统, 2003,(11):31-33. DOI: 10.13873/j.1000-97872003.11.011.
DOI:
利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器
对制作的加速度传感器样品进行了动态测试
单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1μV/gn
双臂梁结构加速度传感器的灵敏度为1.6μV/gn
结果与理论设计值基本吻合。
孙以材等编著.压力传感器的设计制造与应用[M].冶金工业出版社,2000.
吴亚林,赵扬.压阻式传感器热灵敏度漂移的变压源补偿[J].传感器技术,2000(03).
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