在研制多功能集成压力传感器过程中

对关键材料多晶硅来说

制备的工艺条件对其性能影响较大。讨论了沉积温度、反应气体流量和反应室工作压力对多晶硅的沉积速率、晶粒大小和表面粗糙度的影响程度。设计出正交试验

以优化出不同性能要求的多晶硅制备工艺参数。