用复阻抗法分析纳米钛酸钡湿敏元件感湿机理

doi:10.13873/j.1000-97872003.09.044

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用复阻抗法分析纳米钛酸钡湿敏元件感湿机理

更新时间：2025-09-11

- 用复阻抗法分析纳米钛酸钡湿敏元件感湿机理
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- 传感器与微系统 2003年第9期页码：78-80
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(60074031)
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.09.044
  中图分类号： TP212.2
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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用复阻抗法分析纳米钛酸钡湿敏元件感湿机理[J]. 传感器与微系统, 2003,(9):78-80.
用复阻抗法分析纳米钛酸钡湿敏元件感湿机理[J]. 传感器与微系统, 2003,(9):78-80. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.09.044.

DOI：

摘要

用复阻抗方法对硅衬底纳米钛酸钡湿敏元件的感湿机理进行了分析。实验测量了湿敏元件在不同相对湿度下的复阻抗特性曲线及阻抗、电容等参数随频率的变化曲线。分析出相应的等效电路

推导了等效电路有关参数

分析讨论了纳米钛酸钡湿敏元件的感湿机理。低湿时

感湿材料本身颗粒电阻和电容及吸附的少量水分子共同起作用;高湿时

吸附的水分子电离和极化起主要作用。

Abstract

关键词

Keywords

references

卢跃东,张靖漓,李标荣,曾勇强.用复阻抗法分析MgCr-2O_4-TiO_2湿敏陶瓷感湿机理[J].传感技术学报,1993(03).

张靖漓,卢跃东,吴国标,李标荣.La_(1-x)Sr_xFeO_3系电子陶瓷的湿敏特性的研究[J].无机材料学报,1992(01).

Y. C. Yeh,T. Y. Tseng.Analysis of the d.c. and a.c. properties of K2O-doped porous Ba0.5Sr0.5TiO3 ceramic humidity sensor[J].Journal of Materials Science,1989(8).

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