微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究

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微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究

更新时间：2025-09-11

- 微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究
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- 传感器与微系统 2003年第9期页码：74-77
- 作者机构：
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- DOI：10.13873/j.1000-97872003.09.043
  中图分类号： TH824.4
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究[J]. 传感器与微系统, 2003,(9):74-77.
微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究[J]. 传感器与微系统, 2003,(9):74-77. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.09.043.

DOI：

在使用开环频率响应实验求取微机械加速度计挠性梁机械刚度时

不可避免地受到静电负刚度的影响。通过分析预载电压和扫频信号幅值对静电负刚度的影响

提出了从系统刚度中分离出挠性梁机械刚度的计算方法。通过不同实验条件下得到的实验结果

验证了该方法的正确性。

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