纸质出版:2003
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用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术[J]. 传感器与微系统, 2003,(9):8-11+15.
用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术[J]. 传感器与微系统, 2003,(9):8-11+15. DOI: 10.13873/j.1000-97872003.09.019.
DOI:
随着微技术的发展
对微观结构的精确测量变得越来越重要。对能够用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术———扫描隧道显微术(STM)、扫描光学近场显微术(SNOM)和原子力显微术(AFM)进行了比较详细的分析和介绍。
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