高选择性常温NH<sub>3</sub>传感器

doi:10.13873/j.1000-97872003.08.026

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高选择性常温NH₃传感器

更新时间：2025-09-11

- 高选择性常温NH₃传感器
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- 传感器与微系统 2003年第8期页码：78-80
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- DOI：10.13873/j.1000-97872003.08.026
  中图分类号： TP212.2
- 纸质出版：2003
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高选择性常温NH₃传感器[J]. 传感器与微系统, 2003,(8):78-80.
高选择性常温NH₃传感器[J]. 传感器与微系统, 2003,(8):78-80. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.08.026.

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摘要

采用MEMS技术

如KOH腐蚀、光刻、溅射金属等技术

在硅片、玻璃等材料上制得平面式微传感器管芯

此结构具有微型化、低功耗、一致性好、适宜大批量生产的优点。敏感材料的采用不同于传统无机物

而是以苯胺为原料

合成高分子聚合物———聚苯胺

此敏感材料不需要加热源

其电阻在室温下与NH3浓度成一定函数关系

可以测得空气中较低含量的NH3。聚苯胺的另一个显著优点是高选择性

实验表明

高达1000×10-6(气体体积分数)的H2

CH4

C4H10

C2H5OH的灵敏度远低于50×10-6(NH3气体体积分数)的灵敏度。

Abstract

关键词

Keywords

references

全宝富,戚金清,王剑刚,全海英,孙良彦.L-谷氨酸盐酸盐膜的气敏特性[J].传感器技术,1998(02).

全宝富,戚金清,吴金鉴,孙良彦.高选择性NH_3敏元件[J].云南大学学报(自然科学版),1997(02).

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高选择性常温NH3传感器

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高选择性常温NH₃传感器