大量程杠杆式光学轮廓仪的非线性分析与补偿

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更新时间：2025-09-11

- 大量程杠杆式光学轮廓仪的非线性分析与补偿
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- 传感器与微系统 2003年第8期页码：38-41
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助(69902006);西北工业大学"英才计划"资助
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.08.013
  中图分类号： TH741
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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大量程杠杆式光学轮廓仪的非线性分析与补偿[J]. 传感器与微系统, 2003,(8):38-41.
大量程杠杆式光学轮廓仪的非线性分析与补偿[J]. 传感器与微系统, 2003,(8):38-41. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.08.013.

DOI：

介绍了以角锥棱镜为目标镜的杠杆式光学轮廓仪的测量方法。应用矢量坐标变换的方法理论推导了在大量程范围内测量位移与光程差的非线性关系

给出了解析解与数值解。通过理论数值解曲线图的分析

提出了采用二阶拟合的补偿方法

求出了补偿后理论误差结果。以微动工作台为位移发生器

在5.2mm范围内

实验给出了轮廓仪的测量结果

并分别计算了测量结果的线性度误差与二阶拟合补偿后的误差。

徐家骅主编.工程光学基础[M].机械工业出版社,1994.

宋刚,胡德金.干涉法激光-光纤表面粗糙度传感器设计[J].仪表技术与传感器,2000(08).

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