多孔硅湿度传感器研究进展

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多孔硅湿度传感器研究进展

更新时间：2025-09-11

- 多孔硅湿度传感器研究进展
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- 传感器与微系统 2003年第8期页码：5-8
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.08.002
  中图分类号： TP212.1
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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多孔硅湿度传感器研究进展[J]. 传感器与微系统, 2003,(8):5-8.
多孔硅湿度传感器研究进展[J]. 传感器与微系统, 2003,(8):5-8. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.08.002.

DOI：

综述了湿度传感器的研究现状。分析了多孔硅湿度传感器的感湿机理

介绍了几种多孔硅湿度传感器的制作工艺及结构

并讨论了它们的优缺点。最后

对多孔硅湿度传感器的应用前景作了展望。

黎学明,杨建春,陈伟民,黄尚廉,李虎.基于多孔硅光激荧光淬灭效应的SO_2传感器[J].光电子·激光,2001(10).

刘刚,谢基凡,于军,陈萍丽.多孔硅湿敏特性研究[J].华中理工大学学报,1997(01).

王维彪，金长春，王永珍.多孔硅湿敏电容感湿机理的研究[J].郑州轻工业学院学报,1994(S1).

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