微电子机械系统的快速发展对其建模仿真也提出了较高要求。首先介绍了一种微电子机械系统原理级描述仿真方法

它基于成熟的微机械元件库

提供微器件的原理级描述

使得仿真更简单、更高效

但目前其适用范围有限。然后介绍了用这种方法分析叉指式微电容加速度计的结果。