溅射Au对SnO2/Fe2O3薄膜气敏特性的影响

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溅射Au对SnO₂/Fe₂O₃薄膜气敏特性的影响

更新时间：2025-09-11

- 溅射Au对SnO₂/Fe₂O₃薄膜气敏特性的影响
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2003年第6期页码：4-7
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  深圳市科技局资助项目(200012);深圳大学科研基金资助项目(9913)
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.06.002
  中图分类号： TN305.92
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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溅射Au对SnO₂/Fe₂O₃薄膜气敏特性的影响[J]. 传感器与微系统, 2003,(6):4-7.
溅射Au对SnO₂/Fe₂O₃薄膜气敏特性的影响[J]. 传感器与微系统, 2003,(6):4-7. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.06.002.

DOI：

通过直流溅射Au对PCVD方法制备的SnO2/Fe2O3双层薄膜的SnO2表面进行了修饰

并对修饰后的Au SnO2/Fe2O3薄膜的气敏特性进行了观测。结果表明

Au的催化作用使Au SnO2/Fe2O3薄膜气敏器件对CO

C2H5OH等气体的灵敏度增大2～3倍

相应于最大灵敏度的工作温度均降低约60℃。这显示直流溅射Au是改善SnO2/Fe2O3双层薄膜气敏性能的一种有效手段。

王旭升,薛丽君,周晓华,三浦则雄,山添升.气敏材料An-WO_3催化特性的物理解释[J].功能材料,2001(03).

赵永生,阎大卫,康昌鹤,马晓翠,邹慧珠,杜国同.SnO_2气敏薄膜在SnO_2/Fe_2O_3双层结构中成核及生长过程的模拟[J].功能材料,1998(03).

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