SOI传感器的现状和发展趋势

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SOI传感器的现状和发展趋势

更新时间：2025-09-11

- SOI传感器的现状和发展趋势
- State of the art and trends of SOI sensor
- 传感器与微系统 2003年第5期页码：61-64
- 作者机构：
  
  1. 中国电子科技集团公司第四十九研究所
  2. 哈尔滨理工大学测量技术与通讯工程学院
  3. 哈尔滨理工大学测量技术与通讯工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001
  4. ,黑龙江,哈尔滨,150080
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.05.023
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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[1]海涛,刘光辉,周真,卢为.SOI传感器的现状和发展趋势[J].传感器技术,2003(05):61-64.

HAI Tao1, 　LIU Guanghui1, 　ZHOU Zhen2, et al. State of the art and trends of SOI sensor[J]. 2003, (5): 61-64.
[1]海涛,刘光辉,周真,卢为.SOI传感器的现状和发展趋势[J].传感器技术,2003(05):61-64. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.05.023.

HAI Tao1, 　LIU Guanghui1, 　ZHOU Zhen2, et al. State of the art and trends of SOI sensor[J]. 2003, (5): 61-64. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.05.023.

SOI传感器具有耐高温、抗辐射、易于批量生产等优点。目前已开发出力学传感器、化学传感器、光传感器和磁传感器等新产品。介绍了SOI晶片的种类

SOI晶片在传感器和MEMS中应用的特点、SOI传感器的典型产品以及发展趋势。

SOI has the advantages of resisting high temperature and radiation

easy to be batch produced.Mechanical

chemical and optical sensors

etc have been developed presently.The category of SOI wafers and its characteristics and applications in MEMS have been introduced

typical products and state of the art and trends are summarized.

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