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多晶硅压力传感器热灵敏度漂移补偿技术
更新时间：2025-09-11

    • 多晶硅压力传感器热灵敏度漂移补偿技术

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    • 传感器与微系统   2003年第5期 页码：33-36

    • DOI：10.13873/j.1000-97872003.05.013    

      中图分类号： TP212

    • 纸质出版：2003

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  • 多晶硅压力传感器热灵敏度漂移补偿技术[J]. 传感器与微系统, 2003,(5):33-36. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.05.013.

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