采用线阴极的快速阳极键合方法

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采用线阴极的快速阳极键合方法

更新时间：2025-09-11

- 采用线阴极的快速阳极键合方法
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- 传感器与微系统 2003年第5期页码：17-19
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- DOI：10.13873/j.1000-97872003.05.007
  中图分类号： TB34
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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采用线阴极的快速阳极键合方法[J]. 传感器与微系统, 2003,(5):17-19.
采用线阴极的快速阳极键合方法[J]. 传感器与微系统, 2003,(5):17-19. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.05.007.

DOI：

在平板阴极和点阴极方式做阳极键合时

时间-电流特性、键合速度、结合界面质量等都有所不同。通过建立力学和电学模型

分析了不同阴极形状对阳极键合的时间、强度以及结合界面特性的影响。根据模型分析

采取了线阴极工作方式做阳极键合

样品的键合区扩散时间只需要84s。结合界面无空洞

键合强度为16.7MPa。

周青春,陈铮,董师润.点阴极电场辅助阳极连接的等效电路法[J].焊接学报,2002(01).

姚雅红,吕苗,赵彦军,崔战东.微传感器制造中的硅-玻璃静电键合技术[J].半导体技术,1999(04).

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