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用激光束成像法测量双E型硅弹性膜应变
更新时间：2025-09-11

    • 用激光束成像法测量双E型硅弹性膜应变

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2003年第5期 页码：8-9+12

    • DOI：10.13873/j.1000-97872003.05.003    

      中图分类号： TN249

    • 纸质出版：2003

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  • 用激光束成像法测量双E型硅弹性膜应变[J]. 传感器与微系统, 2003,(5):8-9+12. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.05.003.

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