辅助电极型硅传感器的热力学分析与实验

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辅助电极型硅传感器的热力学分析与实验

更新时间：2025-09-11

- 辅助电极型硅传感器的热力学分析与实验
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2003年第4期页码：11-14
- 作者机构：
  
  北京科技大学材料学院,北京,100083
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金的部分资助(59874016)
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.04.004
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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王青松. 辅助电极型硅传感器的热力学分析与实验[J]. 传感器与微系统, 2003,(4):11-14.
王青松. 辅助电极型硅传感器的热力学分析与实验[J]. 传感器与微系统, 2003,(4):11-14. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.04.004.

DOI：

首次用热力学分析了硅传感器的辅助电极与熔液中硅、氧和碳的反应方向与限度。讨论了局域)与熔液中硅活度(a[Si])的相关性;揭示了前人用辅助电极型硅传感器对高碳熔液测量平衡氧逸度(fO2时可能发生附反应

指出了有效测量范围;发现了Mg2SiO4(s)+MgO(s.s.)硅传感器存在测量盲区。研制了一种新Mg2SiO4(s)+MgO(s)硅传感器

用Mg2SiO4(s)+MgO(s)硅传感器测得了盲区内高碳低硅熔液中硅的活度

实验表明该测量无附反应发生

证明了热力学分析是可信的。

梁英教,车荫昌主编.无机物热力学数据手册[M].东北大学出版社,1993.

王青松.辅助电极型硅传感器的研究进展[J].传感器技术,2002(06).

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