微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用

推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发展。介绍了LIGA相关技术的发展状况并举例说明了它们在射频、光学等方面上的一些应用。