磁控溅射纳米SnO<sub>2</sub>薄膜的气敏特性

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磁控溅射纳米SnO₂薄膜的气敏特性

更新时间：2025-09-11

- 磁控溅射纳米SnO₂薄膜的气敏特性
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- 传感器与微系统 2003年第1期页码：61-64
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- DOI：10.13873/j.1000-97872003.01.020
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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磁控溅射纳米SnO₂薄膜的气敏特性[J]. 传感器与微系统, 2003,(1):61-64.
磁控溅射纳米SnO₂薄膜的气敏特性[J]. 传感器与微系统, 2003,(1):61-64. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.01.020.

DOI：

采用磁控溅射制备SnO2薄膜气敏元件

测试了气敏元件的性能

研究了SnO2薄膜气敏元件薄膜厚度、元件加热功率和环境温度和湿度对元件的影响

气敏元件具有很好的灵敏度和选择性特性

对其敏感机理进行了探讨。

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