晶体生长控制中的高分辨力称重系统

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晶体生长控制中的高分辨力称重系统

更新时间：2025-09-11

- 晶体生长控制中的高分辨力称重系统
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- 传感器与微系统 2003年第1期页码：53-54+57
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872003.01.017
  中图分类号： TP274
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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晶体生长控制中的高分辨力称重系统[J]. 传感器与微系统, 2003,(1):53-54+57.
晶体生长控制中的高分辨力称重系统[J]. 传感器与微系统, 2003,(1):53-54+57. DOI： 10.13873/j.1000-97872003.01.017.

DOI：

摘要

论述了晶体生长控制中高分辨力称重系统的实现技术。重点介绍了传感器的选型方法和信号调理电路的设计技术。系统达到了二十万分之一的有效分辨力。

Abstract

关键词

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[美]申戈尔德(D·H·Sheingold) 编著,徐德炳译.传感器的接口及信号调理电路[M].国防工业出版社,1984.

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