在微波技术研究中

微波功率是表征微波信号特性的一个重要参数。微波功率测量已成为电磁测量的重要部分

可应用于很多场合

如发射机输出功率 (包括天线系统辐射的功率 )和振荡器输出功率的测量、毫瓦计的校准、标准信号发生器的校准等。微波功率传感器是微波功率计探头中的核心元件。微梁结构热偶微波功率传感器芯片选择具有低电阻温度系数的Ta2 N和高热电功率塞贝克系数的Si作为热偶材料

利用半导体工艺和MEMS工艺制作

并最终研制成合格的芯片。芯片具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、频带宽等特点。简要介绍了芯片的结构原理

并详细介绍了芯片的制作工艺。