纸质出版:2002
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硅基光波导压力传感器[J]. 传感器与微系统, 2002,(8):4-7+10.
硅基光波导压力传感器[J]. 传感器与微系统, 2002,(8):4-7+10. DOI: 10.13873/j.1000-97872002.08.002.
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硅基光波导压力传感器由于具有灵敏度高、耐高温、抗电磁场干扰能力强、微型等优点
特别适合于在特殊环境中的应用。简要介绍了全反射光波导和抗共振反射光波导压力传感器的结构特点、工作原理及其研究现状。
许高攀,胡国清.硅微机械加工光波导压力传感器的设计[J].传感器技术,2002(01).
温志渝,费龙.集成硅微机械光压力传感器[J].半导体光电,1995(03).
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